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日本進口YUTAKA高純度氣體用壓力調節(jié)器半導體制造用壓力控制設備L18H系列

更新時間:2024-05-07      瀏覽次數(shù):374

日本進口YUTAKA高純度氣體用壓力調節(jié)器半導體制造用壓力控制設備L18H系列


e-flow 高純度氣體壓力調節(jié)器旨在用于半導體工廠,是一種提高純度并最大限度地減少外部泄漏、顆粒和死區(qū)的產品。
它用于多種氣體,包括半導體工廠設施的氣瓶柜、連接裝置、閥箱以及設備制造商的集成單元。
該產品具有優(yōu)良的氣密性,非常適合特殊高壓氣體和有毒、腐蝕性的輸送。L系列:對焊接頭、外密封金屬結構的產品。
R系列:閥體旋入式(NPT)規(guī)格、外部軟密封結構的產品。焊接規(guī)范為承插焊。
D系列:將L、R系列與壓力控制部分組合而成的先導結構電子控制壓力調節(jié)器。
U系列:特殊規(guī)格有機加工主體、對焊規(guī)格,外部密封采用金屬密封結構。

L18H系列是一款1.5英寸塊式調壓器,符合SEMI標準,專為設備制造商的集成供氣系統(tǒng)而設計。另外,作為L18產品的后繼產品,流量特性也得到了極大的改善。

主體焊接接頭規(guī)格也非常適合節(jié)省閥箱空間。

排放流量大約是之前產品 L18 系列的兩倍(相同的面對面尺寸)

隔膜外密封采用金屬密封。


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