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PRODUCT CLASSIFICATION
產(chǎn)品分類產(chǎn)品展示/ Product display
日本YUTAKA高純度氣體壓力控制設(shè)備L18H系列 L18HSH/L18HSV/L18HVHL18H系列是一款1.5英寸SEMI標(biāo)準(zhǔn)塊壓力調(diào)節(jié)器，專為設(shè)備制造商的集成供氣系統(tǒng)而設(shè)計(jì)。另外，作為L18產(chǎn)品的后繼產(chǎn)品，流量特性也得到了極大的改善。主體焊接接頭規(guī)格也非常適合節(jié)省閥箱空間。
產(chǎn)品型號(hào)：L18HSH/L18HSV/L18HVH廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時(shí)間：2024-10-09訪 問 量：243
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日本YUTAKA高純度氣體壓力控制設(shè)備L18H系列 L18HSH/L18HSV/L18HVH 特點(diǎn)介紹
L18H系列是一款1.5英寸SEMI標(biāo)準(zhǔn)塊壓力調(diào)節(jié)器，專為設(shè)備制造商的集成供氣系統(tǒng)而設(shè)計(jì)。另外，作為L18產(chǎn)品的后繼產(chǎn)品，流量特性也得到了極大的改善。
主體焊接接頭規(guī)格也非常適合節(jié)省閥箱空間。
排放流量大約是之前產(chǎn)品 L18 系列的兩倍（相同的面對(duì)面尺寸）
隔膜外密封采用金屬密封。
日本YUTAKA高純度氣體壓力控制設(shè)備L18H系列 L18HSH/L18HSV/L18HVH 規(guī)格參數(shù)
適用氣體 高純氣體
入口壓力 0.99MPa以下
調(diào)節(jié)壓力 Max.0.7MPa
（范圍規(guī)格：0-0.2MPa、0-0.4MPa、0-0.6MPa、0-0.7MPa）
承受壓力 1.5MPa（入口側(cè)）
CV值 0.1
工作溫度 -10~+40℃
外漏 1×10-11Pa·m3/s·He（真空法）
大量的 約0.36公斤
安裝方法 使用后部螺釘安裝
類型L18高速鋼L18HSHL18HSVL18HVHL18HSH-CL2
氣體接觸部分
主體SUS316L SUS316真空雙熔材質(zhì) SUS316L
隔膜哈氏合金® C-22
閥座PCTFE（Daiflon®） 氟樹脂
調(diào)節(jié)閥桿SUS316L 哈氏合金®
C-22 SUS316L 哈氏合金® C-22
郵箱：akiyama_zhou@163.com
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