日本YUTAKA中壓中流量型壓力控制器L35系列 L35SS/L26SH/L35SH-CL2 特點(diǎn)介紹

L35系列是專為低壓和中壓半導(dǎo)體工藝制造氣體設(shè)計的產(chǎn)品?；窘Y(jié)構(gòu)為外部金屬密封和焊接接頭，具有優(yōu)異的外泄漏和顆粒性能。

由于流量范圍有所增加，因此它非常適合用于為具有 3/8 尺寸管道的設(shè)備供電的閥箱和連接裝置。

功能中壓6MPa以下

低壓1MPa以下

焊接規(guī)格 金屬墊片接頭調(diào)節(jié)閥結(jié)構(gòu)針型兼容氣體其他

燃?xì)庠O(shè)備標(biāo)準(zhǔn)流量100～500NL/分鐘

日本YUTAKA中壓中流量型壓力控制器L35系列 L35SS/L26SH/L35SH-CL2 規(guī)格參數(shù)

調(diào)節(jié)壓力 Max.0.9MPa

（范圍規(guī)格：0-0.2MPa、0-0.4MPa、0-0.6MPa、0-0.9MPa） 

氣源壓力波動 入口壓力：每0.1MPa，調(diào)節(jié)壓力變化量0.0007MPa 

承受壓力 9MPa（入口側(cè)） 

CV值 0.21 

工作溫度 -10~+40℃ 

外漏 1×10-11Pa·m3/s·He（真空法） 

內(nèi)部容積 11.3cm（不含3個壓力表及接頭） 

大量的 約1.9公斤 

類型L35SSL26SHL35SH-CL2L35SS-N2OL35SS-COL35SS-NH3

氣體接觸部分 

主體SUS316L 

調(diào)節(jié)閥桿SUS316L 哈氏合金®C-22 SUS316L 

閥座SUS316L 哈氏合金®C-22 SUS316L 

隔膜哈氏合金® C-22 SUS316L 哈氏合金®C-22 

閥座PCTFE（Daiflon®） 特種

氟樹脂 聚酰亞胺

樹脂 PCTFE

（Daiflon®） 氨

專用板材