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日本tokyokeiso超聲波流量計檢測器控制閥 CLFC300系列 特點介紹
CLFC300系列是集成了超聲波流量計檢測器、控制閥以及進行流量計算和閥門控制的電路的流量控制器。
配備可速追隨目標流量的控制功能,適用于半導體設備所需的各種液體的控制,如化學液體的定量供給、DIW的流量控制、漿料流體的定值控制、等等。
日本tokyokeiso超聲波流量計檢測器控制閥 CLFC300系列 規(guī)格參數
· 改進的可控性
我們改進了常規(guī)的計算處理,進一步提高了抗氣泡性。
流量測量的穩(wěn)定性也得到了提高。
· 改進的可控性
在階躍響應性能方面,我們利用最新的運算電路實現了極快的響應,實現了1.5秒內達到設定值的控制速度。
· 兩種閥門類型可供選擇
我們有用于化學液體和 DIW 的針閥,以及用于漿料流體的夾管閥。
我們在夾管類型中新添加了 STA-PURE 型 PC 管。
StaPure 管非常耐用,無需更換管,而以前需要定期更換。
· 更小更輕
超聲波流量計檢測器、控制閥和電路裝在一個小外殼內,安裝在設備內部時節(jié)省空間。
結構經過重新設計,使傳統(tǒng)產品更加緊湊。(減少 20%)
由于小型化,重量也減輕了。(下降 35%)
· 減少布線和管道
安裝時,只需連接流體進出口接頭并使用多芯電纜進行電氣接線即可,無需復雜的配管和接線。
· 環(huán)保
減少電流消耗。(實際值減少 35%)
由符合 RoHS 的部件構成。
· 高耐腐蝕性
接液部件采用 PFA 和 PTFE 等高耐腐蝕性材料,可用于半導體行業(yè)和處理化學品的各種行業(yè)。
表殼材質也采用PVDF。