日本shibaura皮拉尼壓力計高耐腐蝕性半導體 GPW 系列 特點介紹

廣域測量：可測量大氣壓至5×10 -2 Pa的廣域

節(jié)省布線：集成傳感器和控制器可減少布線、空間和功耗。

提高可視性：配備 LED，可讓您檢查異常情況

可一鍵式調(diào)整：可一鍵式進行氣壓調(diào)整和零點調(diào)整。

可維護性：易于更換探頭

燈絲材料： 鉑(Pt)：燈絲材料采用具有高耐腐蝕性的鉑。

測量值輸出信號：壓力0～10V的對數(shù)輸出為標準配置。

提高抗沖擊性：具有高抗沖擊性的設(shè)計結(jié)構(gòu)

控制輸出信號：可輸出兩個設(shè)定點（GPW-1）

串行通訊規(guī)格：可進行RS-232C/RS-485通訊（僅限GPW-2）

用于太陽能電池、FPD、半導體和電子元件等各種制造設(shè)備的低真空區(qū)域的過程控制。

用于熔爐等各種工業(yè)設(shè)備低真空區(qū)域的過程控制

用于直列式、單晶圓式等具有多個處理室的各種制造設(shè)備的低真空區(qū)域的過程控制。

日本shibaura皮拉尼壓力計高耐腐蝕性半導體 GPW 系列 規(guī)格參數(shù)

模型GPW-1GPW-2

可連接探頭一 

自適應探頭SWP-16 (NW-16) 

測量壓力范圍5.0×10 -2 ~ 1.0×10 5 Pa 

測量精度*1 × 10 -1～ 1 × ×10 4 Pa ：± 10 %

5.0 × 10 -2～ 1.0 × 10 -1 Pa、1 × 10 4 Pa ～ 1 × 10 5 Pa ： ± 20 % 

重復性1×10 -1 Pa～1×10 4 Pa：±2% 

采樣時間50 ms 5次移動平均處理 

測量值輸出 輸出電壓直流0-10V 

壓力指示（日志輸出）1.7 V 至 8.0 V，1V/位 

更新時間50毫秒 

控制輸入信號集電極開路輸入、負邏輯

ADJ調(diào)節(jié)（零點調(diào)節(jié)、大氣壓調(diào)節(jié)） - 

控制輸出信號集電極開路輸出

負邏輯 [額定值：30 VMAX、50 mAMAX、70 mW]

錯誤信號

設(shè)定點 1、2 - 

設(shè)定點監(jiān)視器設(shè)定點 1、2：0 至 10 V 日志輸出 - 

串行通訊規(guī)格- RS232C/RS485 

LED顯示屏電源/錯誤：電源、錯誤 LED