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日本e-yamato高純氣體用壓力調節(jié)器調壓閥 SR-1LL/SR-2LL/SR-2.5LL高純度氣體(純度99.999~99.99999%)和腐蝕性氣體的供應。SR-1HLVI具有特殊結構,即使從調節(jié)器出口抽真空,二次室也能獲得1X104torr以上的高真空。即使進行抽真空,氣體也不會從入口側(一次側)流動。
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日本e-yamato高純氣體用壓力調節(jié)器調壓閥 SR-1LL/SR-2LL/SR-2.5LL 特點介紹
高純度氣體(純度99.999~99.99999%)和腐蝕性氣體的供應。
SR-1HLVI具有特殊結構,即使從調節(jié)器出口抽真空,二次室也能獲得1X104torr以上的高真空。
即使進行抽真空,氣體也不會從入口側(一次側)流動。
可作為經濟產業(yè)大臣認證品生產。在高壓氣體設備中使用時,請選擇合格品。
也可制作流動方向體、左側入口(左高壓)型。
日本e-yamato高純氣體用壓力調節(jié)器調壓閥 SR-1LL/SR-2LL/SR-2.5LL 規(guī)格參數
SR-1LL
SR-2LL
SR-2.5LL
一次側壓力(MPa)
0.5~2
0.5~2
0.5~2
二次倒使用壓力(MPa)
0.05~0.99
0.1~0.6
0.1~0.8
使用溫度(度C)
-10~40(股計溫度:-10~7攝氏度)
1/4
外部響應量(Pam/sec)
螺紋接騰:1.01x10-以下焊接統:1.01x11-以下
接氣主
本體
要部材質
SUS316
材質記號
隔膜
SUS316
脫身
井材
PTFE
PCTFE
是476
其他
SUS316.SUS304.PTFE
過濾器粗糙度
200墨西哥
量
(kg)
1.0
1.1
12
様準流量
8/min(mor.)
100(P=2MPa.P2=0.6MPa)
320(P)=2MPa,Pe=0.6MPa。
400(P)=2MPa.Pe=0.8MPa)
最大流量
/min(mor.)
120(P1=2MPa,Pa=0.6MPa)
400(P=2MPa,P2=0.6MPa)
500(P)=2MPa.P2=0.8MPa)