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日本e-yamato調(diào)節(jié)器高純氣體用調(diào)壓閥分析器 SR-3LL/SR-3.5LL高純度氣體(純度99.999~99.99999%)和腐蝕性氣體的供應(yīng)。SR-1HLVI具有特殊結(jié)構(gòu),即使從調(diào)節(jié)器出口抽真空,二次室也能獲得1X104torr以上的高真空。即使進(jìn)行抽真空,氣體也不會(huì)從入口側(cè)(一次側(cè))流動(dòng)。
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日本e-yamato調(diào)節(jié)器高純氣體用調(diào)壓閥分析器 SR-3LL/SR-3.5LL 特點(diǎn)介紹
高純度氣體(純度99.999~99.99999%)和腐蝕性氣體的供應(yīng)。
SR-1HLVI具有特殊結(jié)構(gòu),即使從調(diào)節(jié)器出口抽真空,二次室也能獲得1X104torr以上的高真空。
即使進(jìn)行抽真空,氣體也不會(huì)從入口側(cè)(一次側(cè))流動(dòng)。
可作為經(jīng)濟(jì)產(chǎn)業(yè)大臣認(rèn)證品生產(chǎn)。在高壓氣體設(shè)備中使用時(shí),請(qǐng)選擇合格品。
也可制作流動(dòng)方向體、左側(cè)入口(左高壓)型。
日本e-yamato調(diào)節(jié)器高純氣體用調(diào)壓閥分析器 SR-3LL/SR-3.5LL 規(guī)格參數(shù)
SR-3LL
SR-3.5LL
一次側(cè)壓力
(MPa)
0.4~2
0.5~2
二次側(cè)使用壓力
(MPa)
0.1~0.6
0.1~0.6
使用溫度
(攝氏度)
-10~40(股計(jì)溫度:-10~7攝氏度)
1/4
3/8
外部響應(yīng)量(Pam/sec)
螺紋接合:1.01x10-以下焊接合:1.02x10-以下
接氣主
本體
要部材質(zhì)
SUS316
SUS316L
材質(zhì)記號(hào)
隔膜
SUS316
諾科脫明
PTFE
是P.476
其他
SUS316.SUS304.PTFE
過(guò)濾器粗糙度
200墨西哥(SR-3.5LL的出入口為焊接隧道時(shí),未內(nèi)置過(guò)濾器。)
量
(kg)
1.4
2.3
標(biāo)準(zhǔn)流量
8/mininor)
640(P1=2MPa.Pe=0.6MPa)
1280(Pl=2MPa.P2=0.6MPa)
最大流
2/mininor Ne)
800(P)=2MPa.P2=0.6MPa)
1600(P1=2MPa.Pz=0.6MPa)
郵箱:akiyama_zhou@163.com
傳真:
地址:廣東省深圳市龍崗區(qū)龍崗街道新生社區(qū)新旺路8號(hào)和健云谷2棟10層1002